二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198486 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种下一代等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，设计用于生产先进的IC技术所使用的高性能材料。反应堆提供高精度的基材加工，包括化学二氧化物沉积，以及沉积低k材料的能力。这使设备制造商能够生产比传统方法更好的半导体器件，提高器件性能和可靠性。AMAT ENDURA是生产高性能半导体材料的一种经济高效的方式，每小时可运行多达12次晶圆。低k材料在生产中的加入很重要，因为低k材料减少了电路延迟，提高了电气性能。APPLICED MATERIALS ENDURA能够以极高的控制和精确度将这些低k材料沉积到基板上,从而由于高效且均匀的互连间距而提高了设备的电气性能。反应堆内的等离子体环境也可用于创建更均匀的无空隙层，从而实现更一致和可靠的性能。PECVD工艺的高精度性质也有助于消除静电充电，这会损坏精细的设备结构。ENDURA利用先进的粉末涂层传递臂将信号从输入/输出接口（I/O）直接传输到基板。这增加了PECVD过程的准确性和速度，减少了由于多个基板并行快速处理而导致命令误解或损坏设备结构的风险。此外，粉末涂层传递臂减少了离子对底物的损害。除了减少离子损伤外，手臂还对基板的温度提供了更好的控制，这可以有助于提高成品装置的产量和质量。为了保持稳定的过程,AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA采用了高级流量控制器。这包括将基板与排气流实时隔离，这有助于减少过程中的变量数量，从而使结果更加一致和可靠。Advanced Flow Controller（高级流量控制器）还允许用户控制PECVD过程的温度,以获得更准确和受控的结果。AMAT ENDURA是一种先进的PECVD反应堆，为设备制造商提供了多种好处。它允许高性能材料以及低k材料的沉积，具有高精度和精确度，从而提高了电气性能。此外,Advanced Flow Controller允许改进温度和基板管理,从而提供更加一致和可靠的生产过程。APPLICED MATERIALS ENDURA是先进半导体行业的宝贵工具,能够创建复杂且增强的器件。