二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198488 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种先进的多用途化学气相沉积设备,用于开发用于制造半导体器件的多种薄膜。AMAT ENDURA主要用于沉积和蚀刻两种功能.沉积是将材料薄膜像晶圆或圆盘一样添加到基板上的过程。当一种化学气体反应物在应用材料ENDURA中被引入一个腔室并暴露于引起反应的热能或等离子体能时,这种反应就完成了。这种反应产生一种汽化形式的材料在室内覆盖基材在一个均匀的层。蚀刻,一种用于去除或改变材料形状的工艺,也可以用ENDURA Reactor处理。这可以通过两种不同的方式来完成:用化学反应湿蚀刻和用物理反应干蚀刻。在湿蚀刻中,高度腐蚀性的化学物质在底物表面保持反应以去除材料,而干蚀刻则涉及使用高能离子攻击材料。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是寻求高品质、可靠生产工具开发集成电路装置的客户的有效选择。它具有多种特性,使其成为沉积和蚀刻过程的可靠选择。AMAT ENDURA利用先进的流体输送系统,使化学反应物以高达每小时200晶圆的惊人吞吐量准确、均匀地输送。反应堆还具有先进的温度控制能力,确保晶圆的温度保持在所使用材料的理想范围内。自动冷却系统允许温度在APPLIED MATERIALS ENDURA处理过程中保持稳定。此外,反应堆采用隔离室设计,可减少微粒、气体和化学蒸气的积聚,从而产生极好的均匀性沉积膜。ENDURA反应堆是一个极好的工业级反应堆,提供高性能和可靠性,以满足生产要求。它是半导体工业制造集成电路器件的绝佳选择。
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