二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198490 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种先进的物理气相沉积（PVD）设备，用于薄膜沉积。该系统设计用于高精度涂覆表面的电介质、导电或磁性薄膜。AMAT ENDURA具有无与伦比的吞吐量、扩展的工作距离和集成的高级工艺控制工具,为薄膜沉积提供了可靠、高效和经济高效的解决方桉。APPLICED MATERIALS ENDURA是一个强大而高效的物理气相沉积单元，具有多种特点。它提供高达20英寸/分钟的高流程吞吐量、大流程区域（11 x 12 x 50英寸）和最大200英寸/分钟的行程速度。此外,ENDURA还具有独特的延长工作距离（EWD）功能,可在不中断工艺的情况下去除基板。这也允许比其他PVD系统更高的沉积速率。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA允许使用集成的计量、过程控制和分析功能进行精密薄膜沉积。它通过使用增强的光学检测机，确保了精确和可重复的薄膜厚度和均匀性。此外，AMAT ENDURA设有闭环过程控制、原位光学反射测量和控制过程平台。这样可以方便地进行配方设置、精确沉积和实时过程监控。除了精密的能力外，APPLIED MATERIALS ENDURA还为操作员和工艺保护提供多种安全功能。例如，它有一个全封闭的双点激光安全帘，用于操作员保护，以及基板处理工具的安全罩。ENDURA是多种应用的理想解决方桉，包括介电、导电和光学薄膜、光敏涂层和纳米技术。其可靠的性能和高效的吞吐量使其成为任何现代工业制造工厂的绝佳选择。