二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198491 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是晶圆级沉积和蚀刻工艺的通用、经济高效的平台。它具有创新但可靠的体系结构和软件可选择的流程配方。AMAT ENDURA反应堆设计用于处理广泛的沉积和蚀刻过程，允许用户快速选择和修改物理和化学操作的顺序。APPLICED MATERIALS ENDURA反应堆的坚固设计和结构使其能够在整个基板上实现持续、高通量和均匀的性能。它旨在提供卓越的材料柔韧性，允许蚀刻硬质和软质材料以及沉积复杂的金属合金。包括DC、I.F.和R.F.在内的各种等离子体源,使得复杂的过程和hi-k介电材料具有极好的均匀性。ENDURA反应堆还设计用于支持包括O2、Ar、Xe和He在内的多种源气体，以及许多附加化学物质的组合。反应堆的模块化设计为配置不同的蚀刻室和沉积室提供了灵活性，甚至允许在一个系统中使用不同的化学物质。直观的AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA软件套件包含一些用户友好的功能,以支持流程配方。用户可以快速选择和修改物理和化学操作的顺序，让AMAT ENDURA反应堆在不改变硬件的情况下轻松支持不同的过程。这一方便的功能使用户可以在进程之间切换时节省时间和金钱。除了工艺能力外，APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆还配备了若干精细的监测和机载诊断工具，以确保准确和可重复的结果。反应堆的机载传感器提供实时反馈，允许调整电流、压力、温度和其他参数以获得最佳性能。ENDURA反应堆的建造是为了维持过程环境，并将粒子保持在较低的水平，允许更高的产量。此外,系统设计为自动监控流程环境,以检测可能导致流程结果不正确的任何更改。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是晶圆级沉积和蚀刻工艺的通用、可靠、经济高效的平台。其广泛的操作范围，用户友好的软件，以及彻底的监控系统，使其成为广泛的晶圆沉积和蚀刻过程的绝佳选择。