二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198492 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种计算机控制、高性能的化学气相沉积（CVD）反应器，为满足半导体苛刻的沉积要求而设计。与上一代系统相比,AMAT ENDURA使客户能够制造产量和设备性能显着提高的设备。APPLICED MATERIALS ENDURA是在大容量制造（HVM）环境中沉积的行业领先平台,例如在3D NAND和磁记录介质以及MEMS（微机电系统）中的应用。凭借其先进的硬件、软件和材料功能,ENDURA使客户能够在其设备层中快速准确地编码目标电子、光学和机械性能,从而获得更好的性能。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA是业界首个3-D沉积系统,可提高生产效率和提高过程控制能力,同时减少缺陷。它具有全碎片、自动源输送以实现无与伦比的化学品输送速率以及现场端点检测系统以实现更精确的过程控制。利用先进的建模技术和实时过程反馈，AMAT ENDURA可以优化沉积过程中的层位/重迭均匀性、沉积速度等重要参数。APPLIED MATERIALS ENDURA有三种独特的配置,称为"平台"或"MO",旨在满足特定的HVM要求。ENDURA 5000为3 D NAND和DRAM等大型设备提供最佳性能，而AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA 3000为内存使用而设计，如移动DRAM和AMAT ENDURA 1000针对较小的设备和晶片，如MEMS。APPLICED MATERIALS ENDURA被设计成一个能适应HVM环境中半导体沉积不断变化需求的强大平台。ENDURA的高级控制和监控系统允许客户实时跟踪流程参数,从而能够快速调整设置以获得最佳结果,并优化流程控制以实现故障安全性能。它的高级控制和监控系统还使客户能够在最短的停机时间内及时快速诊断、故障排除和解决问题。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA精确的室内化学和过程控制功能确保他们能够快速开发新的过程配方并优化其配方以提供增强的设备性能。