二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198494 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种用于蚀刻工艺的半导体制造设备。AMAT ENDURA反应器设计为生产高性能微芯片和集成电路，特别注重晶圆底部，从而在降低功率和面积的情况下产生更高性能的晶体管。APPLICED MATERIALS ENDURA反应器是一种多级製造反应器，利用多个蚀刻室对晶圆表面提供高精度的蚀刻和清洁，确保高产率和器件性能。这些腔室的设计与各种蚀刻化学方法兼容，使它们能够用于不同的蚀刻过程。反应室是密封的，允许蚀刻化学残留在晶片从一个腔室移动到另一个腔室时会被重用。蚀刻室配置有独特的流体输送器，由两组气动执行器处理，以便对蚀刻过程进行精确的局部控制。执行器连接到蚀刻室，以便对蚀刻化学的流动进行精确调整。这样可以实现晶片表面的最佳蚀刻和清洁。ENDURA反应堆还配置了先进的控制和测量系统，用于优化蚀刻工艺。该系统能够监控几个过程参数，如压力、温度和流量。反应室还可以配置各种成像和数据采集系统，以便对该过程进行实时监测和成像。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA反应堆的主要优点是其精度和适应不同蚀刻化学和制造工艺的能力。AMAT ENDURA反应堆是一个高效可靠的反应堆，为生产高质量的微芯片和集成电路提供了一个整体成本效益高、可靠的解决方桉。