二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198495 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是一种高精度、超精度、多过程的制造设备,旨在为下一代微芯片的生产提供统一和一致的结果。它能够通过密度优化和直径减小来产生支持高产率的高度可靠和吞吐量优化的结构。AMAT ENDURA具有多区域流程自适应环境,使客户能够微调和优化系统参数以实现其期望的目标。这包括先进的原位应用材料ENDURA电化学过程和用于退火的快速热处理（RTP），以及其他过程。它有一个高负载、可变现场生产室，带有遥控板加热器和单侧气动控制锚固，用于精确装卸工艺基板。反应堆具有独特的用于调节压力、温度和其他工艺条件的闭环控制单元，以确保精度和工艺控制。这台机器还允许用户保存和检索过程序列和配方，使得无论每批处理的晶圆数量如何，都容易复制理想条件。还可以定制该工具,以满足客户的需求,如通过体系结构、介电和导体材料选择以及特征尺寸等。ENDURA具有很高的可靠性和效率，具有低颗粒生成和坚固的跟踪工具，能够提供资产集成和出色的基板保存。该模型采用超精细动态过程控制，保留了关键的过程参数，防止了制造特征的移动和变形。这确保了可重复性，并防止任何粒子脱落由于控制不力。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是制造可靠、均匀、高精度、生产速度快的微芯片的完美设备。它能够提供稳定、一致的结果,并针对产量和性能进行了优化。该系统具有过程自适应环境、闭环控制、低粒度生成等特点,非常适合先进的制造,并能满足客户的需求。