二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198496 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor，或称AMAT ENDURA，是一种最先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备。它用于半导体制造，以创造高质量的介电膜，以及需要先进材料的新内存和逻辑器件应用。APPLICED MATERIALS ENDURA反应器具有多种创新的特性和能力，使其成为许多先进薄膜沉积工艺的理想工具。它利用多过程平台，支持沉积，蚀刻，植入应用在一个系统。这允许使用更多的不同晶圆材料和工艺，使其适合各种应用。该反应堆采用车载数字控制器和精密的容器装载装置设计，方便高效的晶圆处理。其先进的自动化能力使晶片易于装卸，也有助于多层沉积和蚀刻应用。ENDURA还具有高效和可定制的机电膜沉积机。具有生产均匀性高、控制沉积率提高、功耗合理的薄膜能力。它还包括一个XYZ轴级，以允许过程自动化，包括在沉积和蚀刻过程中移动晶圆的能力。此外,该工具还提供精确射频（射频监测）监控,使用户能够准确控制射频电源并监控整个沉积过程。这提高了工艺能力，以及沉积层厚度和组成的一致性和均匀性。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA还提供原位温度控制，使工艺的温度在生产过程中得以准确监测和调整。总体而言，AMAT ENDURA反应堆是半导体制造的强大沉积资产。它的一套高级功能使其成为创建高质量介电膜以及其他需要高级材料的内存和逻辑设备应用程序的理想工具。该模型允许对各种金属和介电膜进行高效和受控的处理，并提供一致的沉积质量和均匀性。