二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198499 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种用途广泛、容量大、全自动的反应堆，设计用于先进的半导体加工。这种多功能反应堆允许在单个工作站同时进行沉积、蚀刻和清洁操作。该设备采用AMAT专利Aeroflex喷嘴设计，确保颗粒分布均匀，工艺控制准确，薄膜沉积更高效、更精确。利用这一特性，AMAT ENDURA可以提供超薄膜，以及优化薄膜厚度和晶片均匀性的机制。系统的气体分布通过使用精细的气体管理单元在整个基板表面均匀进行，气体流量测量保持在很高的精度。此外，APPLIED MATERIALS ENDURA还配备了自动化过程控制硬件监测机，能够管理多达8种不同类型的反应堆参数。这包括压力、流量和温度的实时反馈流,可实现精确的过程控制。该工具还采用了基于配方的软件平台，允许用户预先编程他们所需的流程配方，并将其流程参数保存给未来的用户。再者，ENDURA可以与各种不同的反应堆配置一起使用，允许其在广泛的工艺应用中使用。资产可以按顺序或聚类安排使用，也可以集成到现有或新的制造系统中。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA的占地面积较小，它拥有一个大的加工室，方便了较大的加工体积。最后，该模型还包括高效的疏散系统、多个涡轮分子泵和大功率加热器。这种高水平的工程技术使AMAT ENDURA能够突破高级制造的极限,提供诸如提高吞吐量、提高工艺精度和提高产量等功能。APPLICED MATERIALS ENDURA为广泛的沉积和蚀刻应用提供了强大而灵活的解决方桉，使其成为先进半导体加工的理想选择。凭借其全面的设备能力和高效的过程控制,ENDURA为复杂的过程需求提供了增强的解决方桉。