二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198500 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA® Reactor是一种专门的设备,设计用于在各种基材上执行各种化学过程。这类反应器被用于半导体、光伏（PV）和薄膜沉积工业，在晶圆或其他平坦基板上制造层膜。AMAT ENDURA®反应堆能够进行化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）处理。机器的气柜配备了多达15个工艺模块，提供了灵活性，并允许在同一个工艺室内使用不同的气体和化学物质。气体输送和分配由一系列精密的阀门、孔口和质量流量控制器管理，确保该过程所需气体的准确和均匀供应。在沉积过程开始之前，将基板放入腔室并加热至所需温度。在引入了该工艺所需的所有气体之后，使用射频功率、气体化学和工艺压力的组合来实现适当的溷合物。反应器沉积的膜的均匀性在很大程度上取决于在整个沉积过程中保持均匀的压力和温度。为了达到这种均匀性，反应堆配备了带有高温计的石英视口，用于监测基板温度。反应堆还采用主动加热和被动加热相结合的方式，确保基板温度均匀稳定。采用射频感应和电子束线性运动等主动加热方法对基板进行精确加热。APPLIED MATERIALES ENDURA® Reactor是一种多用途的机器,能够在广泛的应用中使用几乎所有的过程化学和最佳的反应堆条件。这使其成为客户对基本薄膜沉积工艺的有利选择。反应堆利用射频功率、气体化学和工艺压力相结合，确保可靠的可重复处理，以及均匀的沉积、层覆盖和层厚度。