二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198501 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA现代先进反应器是一种高性能、高通量的物理气相沉积（PVD）工具，旨在创建精确的纳米级材料系统，并进行无与伦比的控制和优化。获得专利的基于CMP的PVD技术使AMAT ENDURA能够在极其清洁、低真空的环境中将多种材料进行高性能、单步沉积到大面积上。APPLICED MATERIALS ENDURA显着减少污染,允许对薄膜堆栈设计进行树脂和原子级控制,从而生产出经济高效、高质量的材料和设备。ENDURA具有多室设备,允许集成高级处理功能。在每个腔室中，四个V形电子束通过一个强大的磁体组件，以保持光束精确对齐和集中。这提供了跨基板的卓越均匀性，使其能够在非常大的基板区域上达到沉积速率。该系统还具有可变功率分数空间电荷灯丝，能够精确脉冲电子束，创造出一个能够满足紧凑设备要求的高效沉积过程。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA比传统系统有许多优势，如高通量、低污染、高均匀性。它配备了先进的传感器和微操纵器，可以精确控制每个腔室的温度和压力以及薄膜的成分。这使用户能够优化工艺，充分利用基材，最大限度地减少浪费。再者，机载计算机控制单元可以编程为在一个周期内执行多个过程，这样可以减少整体过程时间。AMAT ENDURA是一种高度通用和高效的PVD机器，非常适合用于纳米材料、半导体和MEMS（微机电系统）设备生产。适用于研究、原型设计和大规模应用,APPLIED MATERIALS ENDURA为众多行业带来了巨大的价值和生产力进步。