二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198502 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种多室共溅射设备，用于在半导体工业中将薄膜沉积在晶片上。为满足半导体器件制造行业的严格要求，为提供低缺陷、高质量的薄膜沉积物而建造。AMAT ENDURA能够在超低温下沉积，用于PVD工艺在晶片上沉积介电层。应用材料ENDURA由清洁室和加工室两大室组成。洁净室是一个低湿度、超清洁的环境，温度在200摄氏度左右。环境由一系列过滤系统、循环过滤器和离子泵保持清洁。它还有一个可编程的浆料分发器和一个用于装卸晶片的盒式传输系统。该工艺室是一个低压、低真空的环境，维持在150摄氏度和250C之间的温度。腔室有几个端口，包括机械臂端口、视口和激光干涉仪端口，用于监测和控制沉积过程。它包含三个沉积物料来源，以及一个可在它们之间移动的晶片卡盘。可以配置源，使不同的源可以同时活动，允许材料的多层沉积。ENDURA有一个活动的内部监测单元，其中包括一个工艺监测仪、一个蒸发泄漏检测器、一个开环控制单元和一个温度传感器，这些都是用来维持腔室的状况和确保沉积质量的。该机还具有自动化晶片处理能力，以及计算机控制的晶片嵌套算法，可用于优化晶片在处理过程中的对准。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA被设计为在薄膜沉积中提供多功能性、精确度和一致性。它能够生产高质量的薄膜，污染物和缺陷含量低。它可以将多达五种不同的材料沉积到一个晶片上，每一层都有不同的厚度和化学成分。这些特性和功能使AMAT ENDURA成为将薄膜和其他材料沉积到晶片上的竞争激烈的平台。它是一种功能强大、可靠且经济高效的半导体器件制造操作解决方桉。