二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198504 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA™ Reactor是一种用于半导体沉积应用的工具,旨在提供业界领先的工艺控制、低拥有成本和高吞吐量,以提高设备性能。该反应堆是利用多个气体注入点精确控制温度和流量的高温、低压、环型设备。AMAT ENDURA Reactor通过聚焦层均匀性、粒子抑制和线缘粗糙度（LER）提供准确、可重复、均匀的过程控制。集成控制系统提供了可靠的控制层和对惰性气体输送的精确调节；这种能力使薄膜厚度、颗粒抑制和线缘粗糙度均匀化，以满足苛刻的晶圆要求。该单元还得到其调谐射频源的进一步支持，这有助于确保晶圆表面的均匀应力分布，从而在保持电气性能的同时实现更好的附着力和沉积均匀性。APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor也提供自动化的过程控制，有预设的配方和循环参数。这允许以最少的人工输入来优化性能的可重复过程。它的集成状态监视器允许即时查看所有过程参数,以改进故障排除和控制。此工具还提供集成传感器,通过向反馈校正回路提供关键反馈来实现连续优化和均匀性控制。ENDURA反应堆包括几个先进的安全功能，包括一个容纳反应堆的安全外壳、一个具有可调压力开关和可听警报的快速疏散资产以及一个惰性气体安全壳安全罩。此外，该模型还支持变频射频兼容性，以完全控制沉积参数以及远程过程监控。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种用于半导体沉积应用的非常高效的工具，其设计目的是提供低拥有成本、高通量和对工艺参数的精确控制，从而显着提高设备性能。直观的用户界面允许无缝操作,并且还包括一系列安全功能,以确保高效操作,同时将安全作为首要任务。