二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198507 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种全场晶圆处理反应器,为尖端半导体器件提供超精密晶圆製造。该设备的设计能够提供卓越的性能并实现工厂集成。AMAT ENDURA反应堆具有先进的过程控制系统,对沉积过程提供精确的控制,以确保高质量的性能。控制单元具有自动过程调整和阵列控制等高级功能。这样可以确保机器的输出高度可靠和一致。APPLIED MATERIALS ENDURA具有广泛的晶圆加工工作温度范围,允许形成具有过饱和蒸气环境的先进结构。蒸气环境是通过一个蒸汽发生器产生的,该蒸气发生器被送入一个氙源。蒸气发生器允许精确控制晶圆表面上结构的形成。ENDURA还配备了先进的电化学氧化工具,提供出色的氧化率。资产使用极有效率的电化学氧化过程,以每小时约5微米的速率提供均匀的薄膜沉积。薄膜沉积速率比传统方法快得多,允许形成纳米级结构。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA还提供了多种可用于加工各种半导体材料的工艺室。这使得用氮化氙和碳化硅等材料制造先进的结构成为可能。腔室可以配置为定制特定晶片和材料的加工环境。为确保清洁高效的加工环境,AMAT ENDURA反应堆采用惰性惰性气体输送模型,将热污染和非热污染降至最低。惰性气体设备也提高了沉积过程的速度,使得实现更快的加工时间和更好的质量结果成为可能。应用材料ENDURA反应器的设计具有很高的可靠性和较低的维护性.系统的组件非常坚固,可随时间推移提供一致的性能。该单元附带了一个全面的文档包,其中概述了维护和优化性能所需的维护和维修协议。ENDURA反应器是半导体和纳米技术晶圆加工应用的绝佳选择。先进的工艺控制和自动化机器使得快速扭转高质量晶圆制造成为可能。该工具还确保了清洁和高效的加工环境,对纳米级结构的形成有更好的控制。
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