二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198509 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor （AMAT ENDURA Reactor）是半导体工业通用可靠的工具。用于微电子先进设备、MEMS设备和先进IC封装的研制。该反应堆的设计使高温过程具有坚固的设计，可提高过程控制和安全性。应用材料ENDURA反应堆具有三个标准反应堆室：主室、第二室和第三室。主室针对较高温度（最高853 °C）进行了优化,并用于热处理。第二个腔室通常用于反应性气体，侧面有一个可选的平底外延源。第三室为化学气相沉积和溅射膜沉积等沉积过程提供低压环境。反应堆能够在许多气体溷合物中工作，包括标准氮（N2）、氙（Ar）、氦气（He）和氢气（H2）。它还具有适应定制化学前体的能力，允许更先进的过程，如化学气体沉积（CHD）。反应堆的真空水平可以用数字闭环设备和高精度压力传感器进行验证。ENDURA Reactor还配备了晶圆处理系统，使客户更容易将其底物精确地放入单元。它具有使用机械机器的高度精确的晶圆夹持器，可以精确、均匀地放置基板。它还有一个可扩展的输入/输出接口，提供对多个反应堆和终端效应器的控制。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor还配备了先进的控制工具，让客户能够实时监控和更改其批处理过程的状态。它包括一个先进的PID算法，以确保对反应温度、时序和其他过程参数的精确控制。资产还包括数据采集模型和存储配方的能力，以最大限度地提高流程可重复性的效率。最后，它有一个大显示屏，可以让客户轻松地监控流程的状态。AMAT ENDURA Reactor是一种可靠且用途广泛的工具，适合各种处理应用。其强大的设计和先进的控制系统提供了更好的过程控制和安全性,从而实现了一致的高性能结果。它还易于使用,为客户提供了优化流程参数的灵活性。