二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198510 待售
网址复制成功!
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA设备是一种高质量、高通量的反应性离子蚀刻沉积系统。它设计用于生产级微电子制造,是全球公认的该领域的领导者。该设备提供精确、高质量的结果,以及高生产率、吞吐量和过程可重复性。它为用户提供了一系列最先进的功能,以满足不断变化的半导体制造需求,包括多功能反应堆和研发应用。AMAT ENDURA机能处理多种材料类型,包括III-V、金属、铁氧体和介电,高通量达每小时1000晶圆。它具有等离子体增强化学气相沉积(PECVD)腔室工具,以及远程等离子体清洁室和干式就地蚀刻腔室,使其能够实现高质量的硅沉积、介电蚀刻和清洁,用于多种应用。APPLICED MATERIALS ENDURA还为其特殊的掺硒沉积工艺提供了一个特殊的硒沉积室,允许III-V和铁氧体材料的优化蚀刻。该资产设计为直观易用,为用户提供了广泛的自定义选项和自动配方功能。它还旨在使用户能够轻松地将模型集成到当前的实验室配置中,并提供可靠和自动化的配方管理功能。该设备还具有最大的灵活性和可扩展性,以满足未来半导体制造的要求。它提供两种腔室大小和多个配置选项,确保用户可以选择最适合其需求的配置。该系统还提供先进的工艺监测和控制能力,以及高度和倾斜图,对基板地形和组成提供反馈和实时测量。ENDURA单元是动态半导体制造行业的一个经济高效、可靠的解决方桉。凭借其着名的高通量能力、精确的结果以及直观的配置和自动化,它是任何微型化或研发设施的理想选择。
还没有评论