二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198512 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种高性能、大型、单晶圆等离子体蚀刻反应器，设计用于复杂的制造过程。该设备在吞吐量、复杂性、均匀性和可靠性方面提供了卓越的工艺能力,从而实现了先进的薄膜沉积、蚀刻和溅射应用。AMAT ENDURA系统旨在提供最高级别的流程吞吐量和控制,同时提供最大的可配置性和统一性。它利用先进的气体分配单元、自动等离子体发生器和能够实现精确过程控制的腔室几何形状。APPLIED MATERIALS ENDURA machine features a configurable, multi-zone showerhead/Gas distributor assembly which provided precied control of reaction gass, and allowing a rif喷头组件采用静态或动态安全壳设计，将等离子体反应气体均匀地引导到腔壁和基板表面，从而产生高度均匀的薄膜沉积、蚀刻和溅射。其独特的配置允许极其准确和可重复的结果,以及增强的过程灵活性。此外,ENDURA工具还利用离子吸收器/挡板组件来增强等离子体的均匀性和均匀性,并利用循环时间优化包实现更快的吞吐量。该资产还包括一个自动过程控制程序，使应用工程师能够密切监测和实时调整等离子体过程参数。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA模型使用了多种不同的工艺气体，包括氧气、氯气、氙气和氟气，实现了广泛的基于等离子体的加工应用，包括PECVD、RIE和溅射。AMAT ENDURA设备具有先进的特性和坚固的设计,即使在工艺复杂度最高的情况下也能够生产高质量的薄膜、蚀刻和溅射金属膜。总体而言，APPLIED MATERIALS ENDURA是一种高性能、功能丰富的单晶圆等离子体蚀刻反应器，即使在工艺复杂度最高的情况下也能生产高质量的薄膜、蚀刻和溅射金属薄膜。该系统为所有薄膜沉积、蚀刻和溅射应用提供了在吞吐量、复杂性、均匀性和可靠性方面的卓越工艺能力。