二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198514 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应器是用于制造先进半导体器件的最先进的薄膜沉积设备。AMAT ENDURA是一种先进的等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）系统，能够沉积高度整合、保形和应力控制的薄膜。该装置采用多室设计，在沉积过程中提供最大的通用性。APPLICED MATERIALS ENDURA machine used a robotic wafer handling tool with a high-speed, vacumulcom-lock wafer transfer that successed safely and reliable资产的晶片载体得益于用于适当晶片中心的隔离支撑基座、单独的区域加热控制以及用于提高均匀性的自动校准程序。该模型还采用了改进的石英钟设计，采用了集成的沉积源，其配置具有较高的沉积率灵活性和较低的工艺可变性。此外，该设备使多个晶片能够在单个腔室中进行处理，从而提高吞吐量和生产率。在工艺能力方面，ENDURA使得PECVD能够沉积高质量的电介质以及专门用于制造半导体器件的电阻、栅极和其他材料。该系统还具有沉积有机金属等材料保形层的能力。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA有一个高真空数字升华室（DSC），用于执行Sicon纯化过程。该装置能够执行高温退火（HT）工艺以增加材料应力或减少线宽粗糙度（LWR）,以及ALD清洁工艺以去除晶圆表面的有机污染物。AMAT ENDURA机器是为提高安全性而设计的，它采用了改进的等离子体限制工具，防止反向溢出的等离子体颗粒撞击腔室及其部件。最后,资产有多个传感器和警报,可以将任何型号问题通知操作员,以确保最佳安全性、性能和可靠性。总之，APPLIED MATERIALS ENDURA反应器是一种多功能设备，能够以安全可靠的方式进行沉积和净化过程。该系统用途广泛，有利于高效沉积用于制造半导体器件的薄膜和其他材料。它还具有传感器和警报功能,以确保最佳安全、性能和可靠性。