二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198515 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9198515
Chamber I/O board Part number:0100-00546.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA(AMAT)是一种高性能沉积反应器,用于生产半导体工业中的薄膜,用于集成电路、显示器和LED照明等多种应用。AMAT ENDURA利用先进的沉积技术,在涂层和沉积过程中提供卓越的工艺性能和基板覆盖。此外,APPLIED MATERIALS ENDURA也以其多重退火选项和低温沉积过程而闻名。ENDURA利用热壁反应室,其中包含气体、离子、原子和分子等多种材料来产生离子、原子和电子。这些离子、原子和电子形成厚度不同的薄膜层,这取决于所需的应用。然后在热壁上放置一个底物来启动反应过程。热壁加热到特定温度,使反应物发生反应,形成具有所需性质的薄膜层。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA还配备了静电卡盘来控制底物和反应室之间的电场。这使得AMAT ENDURA能够管理沉积速率和薄膜层的均匀性。APPLICED MATERIALS ENDURA配备了先进的端点检测设备,可监控薄膜层形成过程,并在所需点停止沉积过程。这有助于确保所需的薄膜层达到尽可能高的质量和均匀性。此外,端点检测系统允许对层的均匀性和厚度进行更大的控制,这对于薄膜应用尤为重要。ENDURA还包括一个过程监测单元,以确保沉积过程中的准确性和可重复性。使用集成的监控机器对工艺温度、压力和流量进行监控和记录,从而为薄膜层的优化提供反馈。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA是一种先进和可靠的沉积反应器,包括一系列特性,以确保最优质的薄膜层。AMAT ENDURA利用先进的沉积和退火技术,以及一系列的工艺控制和监测系统,为各种薄膜应用提供质量最高的材料。
还没有评论