二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198517 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是为半导体制造和其他相关工艺而设计的先进蚀刻反应器。AMAT ENDURA反应器是专为进行晶圆的临界各向异性（偏斜方向）蚀刻而设计的。这一过程对于生产集成电路和半导体产品制造中使用的其他组件至关重要。应用材料ENDURA反应器在处理各种晶圆尺寸方面是独一无二的.这包括直径200毫米（8英寸）和300毫米（12英寸）的晶圆。反应堆具有多种特性，使操作员能够精确调整蚀刻速率和条件。这包括调整气流和气体成分及温度的能力，以及控制过程压力、功率和偏差。这种尖端反应堆利用真空源、低温泵和高压气体供应来维持所需的蚀刻环境。为此，反应堆为最高整合水平而设计，允许操作员在同一设备上进行多次蚀刻过程。这提供了一种在多个工艺步骤和各种蚀刻化学中优化蚀刻条件的易于使用和有效的方法。ENDURA反应堆还配备了先进的控制系统，使操作员能够精确调整工艺参数。这包括用于确保最佳腔室和气体条件的反馈系统，以及可用于过程追踪和分析的数据记录。最后，该反应堆设计用于机器人工具的快速装卸，以最大限度地提高正常运行时间和吞吐量。应用材料/AMD AMAT/应用材料ENDURA反应堆是为在半导体工业中广泛的蚀刻应用而设计的。它为操作员执行蚀刻操作提供了一种可靠、高效、可编程的方式。它非常适合用于大容量、复杂的蚀刻过程,并允许使用集成的自动化兼容工具。这样可以确保快速的流程转换,并且优化的设置可实现最高效、成本最低的蚀刻操作。