二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198521 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA™反应堆是为半导体器件及相关材料的大面积加工而设计的先进设备平台。AMAT ENDURA反应堆为各种半导体材料提供高性能、经济高效且用途广泛的加工解决方桉。反应堆能够处理尺寸不超过12英寸的晶片。其特点包括均匀掺杂和全范围温度控制，直至1050C精确一致的结果。反应堆的先进设计允许将各种工艺步骤组合在一起，用于多层和多器件的单程处理。它带有多个排空和填充系统,允许同时执行两个过程步骤。应用材料ENDURA反应器是为最大的过程控制和最佳的效率而设计的.其模块化系统通过晶圆传输、六氟化硫输送和气体利用等附加模块，实现了更大的灵活性。该反应堆还具有三精度端块和死区反馈机制，确保最小的材料载荷和定位误差。该反应堆的设计易于与AMAT广泛的材料系统和分配系统集成。这样可实现所有生产要求的最大工艺速度、可重复性和统一性。为了增加便利，反应堆还兼容多个工艺软件包，包括AlignAly、ProbeSET、X-Plane和Pyrotechnics。ENDURA反应堆坚固可靠，提供长期服务，运行稳定，生产环境性能一致。它设计为易于安装和维护,具有多种自动化选项和直观的用户界面。应用材料提供全面的支持和培训,包括安装、工程和工艺开发服务。综上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是各种半导体材料和器件高效大面积加工的可靠、先进的设备平台。它提供了最佳的过程控制和最佳的效率，使其成为任何处理操作的理想选择。