二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198523 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种革命性的设备，设计用于生产半导体器件，如晶体管、二极管等电路元件。这一设备提供了介电层和金属互连的整体原位低温溅射沉积，以及生产这些设备所需的金属触点。这使得AMAT ENDURA成为半导体行业必不可少的工具。该系统本身由一个载荷锁定室、加工室和两个溅射源组成，用于实现原位溅射沉积。集成的锁载室设计用于快速、安全地将晶片移入和移出加工室。然后在沉积过程中使用工艺室来控制压力、温度、氧气和其他气体。它还包含用于沉积金属互连和生产半导体器件所需的金属触点的两个溅射源。应用材料ENDURA能够使用标准配方或氧基配方处理亚微米厚的介电层和金属层。该单元还能够非常快速地创建各种厚度的多层。它还具有通过化学气相沉积（CVD）沉积和采用快速热处理的能力，这对制造先进的半导体器件都很重要。ENDURA还包含一个磁控管，用于特征控制、层厚度均匀性和阶梯覆盖。该磁控管可直接放置在工艺室的中央，以增强均匀性控制。集成的自动装载机和视觉机有助于加快生产时间，而先进的温度控制和等离子体电源对过程提供了优越的控制。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是生产具有前所未有的层厚控制和均匀性的半导体器件的绝佳工具。其集成的元件允许快速高效的生产，并且凭借其先进的特性，可以将半导体产业提升到一个新的高度。