二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198524 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种生产级工程和制造工具。该反应器用作制造半导体及相关元件的单室溶液。它提供了一系列工艺能力，如薄膜沉积、蚀刻、植入、快速热处理、快速热退火、湿处理和其他专门操作。AMAT ENDURA利用高级设计功能进行高级过程控制、自动化,并为其各种功能快速开发配方。反应堆的架构很容易为各种最终用户应用重新配置。此外,它还具有多种功能模块（FM）,可帮助优化过程控制、维护洁净室和延长设备使用寿命。APPLIED MATERIALS ENDURA可实现出色的温度均匀性和精确的温度控制,确保在所有处理周期中的性能一致。其灵活集成提供了设计、扩展和修改超出标准平台中提供的功能的流程配方的能力。反应堆还配备了一个直流脉冲等离子体模块，该模块有助于清洁基板并提高工艺均匀性。ENDURA利用了多种工艺气体，包括氮、氙、氦和氢，允许在多种底物中制造复杂的薄膜结构。该反应堆也适用于半导体的批量和直列式生产，使其成为半导体行业研发和制造的理想工具。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆配备双静电卡盘模块和可选的背面加热器，可实现更高的温度处理和改善基板均匀性。此外，其强大的沉积和蚀刻技术可以适应广泛的工艺技术，使其成为薄膜沉积、绝缘层形成和薄膜表面钝化的一个非常通用的选择。此外，AMAT ENDURA反应堆设计方便快速安装，所有加工室和I/O连接都位于封闭式机柜中。它还提供可靠的使用寿命操作以及较低的总拥有成本。总体而言,APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是一种功能强大、用途广泛且经济实惠的制造工具,可用于各种最终用户应用。它具有先进的技术,可确保卓越的性能、温度均匀性和精确的温度控制,使其成为制造半导体、复杂薄膜结构和其他组件的可靠合作伙伴。