二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198525 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种用于先进半导体器件制造的高性能、高附加值的反应器解决方桉。该反应堆专为为客户提供当今前沿集成电路(IC)设计所需的精密高k工艺技术而设计。AMAT ENDURA反应堆与其他领先的反应堆解决方桉相比,是一个具有成本效益的反应堆,因为它拥有成本低,结果可重复,易用。APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor由一个模块化、单室、垂直超高真空反应器和两个先进材料加工中心组成。AMPC提供超精确温度、压力和气体控制功能等集成处理功能,使客户能够实现增强的FEOL和BEOL流程。反应堆能够处理直径从200毫米到300毫米不等的晶片,并具有允许快速沉积和蚀刻层的涡轮分子泵。ENDURA反应堆还提供先进的保护和可靠性。在反应堆中可以使用更极端的反应性离子蚀刻(RIE)工艺,减少临界晶圆表面积的损失,同时仍然提供必要水平的器件保护。获得专利的AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA设计直接提供冷却剂,然后在明显低于最高温度的温度下将饱和蒸气排出。这种最先进的设计有助于确保设备始终处于适合处理器的环境中,并确保设备的可靠性和安全性。此外,AMAT ENDURA反应堆的模块化设计为操作员提供了独立的过程控制,随时提供安全和受控的运行。此外,电力公司的设计是节能的,确保客户以最低的能源消耗获得最高质量的结果。APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor是一个一流的解决方桉,适用于那些为其最先进的IC设计寻找最先进工艺的客户。该反应堆由于拥有成本低和可重复的结果,提供了一个经济高效的解决方桉。此外,反应堆的高级设计确保最大程度的设备保护和可靠性,以及节能运行,使客户能够获得最高质量的结果。
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