二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198528 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应器是一种广泛用于微电子工业的多用途沉积工具,用于制造半导体所必需的材料层。该设备设计用于多种材料的沉积，允许快速的产品变更和最小的过程中断。此外，反应堆的先进设计使其能够执行各种原子逐个原子的沉积过程，从热化学气相沉积（CVD）到等离子体增强CVD（PECVD）再到电子回旋共振（ECR）PECVD。AMAT ENDURA反应器是一个大面积沉积室，在大面积基板上提供均匀沉积。这是通过水平反应管设计实现的，该设计产生一个均匀的反应物气体流出整个腔室。这一过程是由独特和创新的基板定位系统实现的，该系统允许在操作人员参与的最小程度上方便和准确地定位基板。反应管由石墨制成，具有热解涂层，旨在优化热传递，最大限度地减少沉积过程中底物的污染。这是通过使石墨易于膨胀或随工艺温差收缩来实现的,从而即使在高达300 °C的温度下也能保持材料的均匀性。腔室顶部安装的淋浴总成在基板的整个区域提供均匀的反应物气体分布。这是通过形成喷头射流来完成的，喷头射流将反应物气体均匀地分布在基板上。除了沉积过程外，APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆还提供了多种安全控制系统。该装置包括一个超低温反应物气源和一个低真空气源。这使得半导体器件中的不同材料能够安全沉积。此外，该机器还配备了全面、精确的测井和报警系统，为操作员提供有关过程和材料/步骤不稳定性的综合信息。总体而言，ENDURA反应堆是一种非常宝贵的工具，用于制造半导体制造中复杂而精确的材料层。其先进的设计提供了均匀的沉积和最小的污染，而其安全和控制系统则确保即使是最精致的材料也能最精确地安全沉积。