二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198529 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA （AMAT ENDURA） PVD设备是一种物理气相沉积（PVD）设备,设计用于将金属或合金材料薄膜沉积到电子、医疗和玻璃部件的基板表面上。该系统旨在满足广泛的市场需求，包括大批量生产和多用户操作。APPLICED MATERIALS ENDURA反应器基于优化的双动态网页设计,它提供了一个较大的沉积区域,具有较高的吞吐量和较低的每个特征成本。它还包括节省空间的功能,有助于减少沉积安装的占用空间。该装置配有广泛的真空机配置和腔室配置,可实现多种应用。该工具具有坚固的静电夹紧设备,可确保基板的平整度,以及动态自对准机器人（DAR）,可确保基板的精确定位和高产成型层。此外，该模型还具有先进的过程控制能力、可变性、模块化以及各种应用程序和过程序列的可扩展性。该设备还支持原子层沉积（ALD）、热离子注入（HII）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等先进技术。另外还有增加磁铁用于激光加工和光学材料加工的选项。ENDURA被设计用于各种材料和化学品，包括蚀刻工艺、光刻、电镀等等。它还设计用于处理广泛的基材，包括铜、不锈钢、钛等。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA系统提供高性能、灵活的计量和检查能力。这包括现场计量，以确保确切的规格，同时收集详细的过程数据。例如,Data Parcel Approach支持并发计量、数据收集和过程控制,还支持预测反馈控制。此外,该设备还包括一台自动晶片摄入机,可消除手动设置,并提供降低停机时间的高效途径。此外,该工具还包括许多提高吞吐量和产量的高级自动化功能。最后，AMAT ENDURA是一种优越的PVD资产，旨在满足一系列市场需求。它专为不同的材料、基材和工艺而设计,具有强大而先进的工艺控制和检验功能。该模型还提供节省空间和自动化功能,以实现最大吞吐量、产量和成本效益。