二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198531 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种单一晶圆化学气相沉积(CVD)反应器,在一个用途广泛、成本效益高的设备中结合了非凡的均匀性和生产率。该反应堆采用创新设计,可容纳多达830毫米的工艺模块,以实现卓越的可扩展性,允许电介质和非电介质材料的前端沉积。AMAT ENDURA的先进技术在单个系统中提供了通用的集成过程功能。除了大批量生产所需的部件外,反应堆还包含一些旨在减少人为错误和改进过程控制的功能。该装置的设计目的是为前体气体与晶片基板接触时间提供最大的无缝均匀性和精确控制。它还结合了晶圆冷却机,在沉积过程中优化晶圆表面温度剖面,导致材料沉积均匀。APPLIED MATERIALS ENDURA的过程模块进一步增强了过程控制,允许使用广泛的过程参数,以帮助为任何应用程序定制特定的需求。此外,反应堆的独特设计使其能够支持各种来源和技术,使工程师能够灵活地在需求增加时适当地扩大生产规模。在安全性和可靠性方面,ENDURA提供全面的密封能力,其特点是密封门在过程开始时紧闭,直到完成完全密封。这些密封功能满足严格的安全标准,为用户在操作时提供安心。此外,反应堆的额定IP-65,确保工具部件的安全和保护免受异物、灰尘、小雨和溅水的影响。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是小型和大型生产设施的理想单晶圆CVD反应器选择。凭借其庞大、可扩展的工艺模块、出色的工艺控制和可靠的安全特性,该资产能够满足日益复杂的半导体行业的需求。
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