二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198534 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种用于半导体和MEMS制造的高温等离子处理器。AMAT ENDURA反应堆的设计目的是为制造先进的电气设备提供各种基材的高效、经济高效的处理，它利用先进的基材加热和冷却系统以及沉积和蚀刻系统来提供高质量和高生产率。应用材料ENDURA反应器的基板加工室采用多种系统进行温度控制，可以同时处理绝缘基板和导电基板。温度范围从低至200 °C到高至1000 °C，允许回火、退火和扩散驱动的过程。反应堆室也被密封，内部真空压力额定值高达10-6托。这就允许使用各种气体化学物质，并使底物的坚固处理成为可能。ENDURA反应堆还配备了一个等离子体发生器，旨在提供广泛的工作温度和压力水平。等离子体发生器与反应性高频射频电源配合工作，产生驱动氧化、蚀刻和沉积的自由基和离子种类。分布环天线确保在大型基板上均匀覆盖过程。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor还具有先进的底物装卸硬件。这包括一个自动处理系统与原位卡带加载，使多达三个基板的处理在同一时间。AMAT ENDURA Reactor还与广泛的自动化集群工具兼容，允许与自动化负载锁和机器人进行无缝集成以进行高速处理。除了其底物处理性能外，APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor还包括自己的现场计量和反馈系统，用于实时评估底物的发展。这允许实时的过程监测和反馈,这对于产生一致和高质量的结果至关重要。总体而言，ENDURA Reactor是先进半导体和MEMS制造的顶级系统。它的高级子系统和功能确保了高质量的结果,同时它与自动化群集工具的广泛兼容性确保了高效且高吞吐量的处理。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是现代半导体和MEMS制造的完美解决方桉。