二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198535 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种反应器（或"反应室"），设计用于多种工艺，包括化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）和等离子增强化学气相沉积（PECVD）。AMAT ENDURA由一个真空室、一组电馈通和一个质量流控制器组成，用于控制气体和其他反应物向设备的输送。该系统的设计强调灵活性，允许使用多种反应物源，甚至是不同尺寸的底物（在允许的腔室大小范围内）。单晶片APPLIED MATERIALS ENDURA能够在9英寸的基板上创建~ 1.5%的均匀性,并使粒子计数低于每秒3个计数。它具有直径70毫米的圆形腔室、石英窗，压力可调至500毫巴。一旦建立了工艺，温度、压力和反应物浓度等参数都可以实时设置和调整，以便对晶圆沉积工艺进行高度精确的控制。ENDURA还附带了广泛的真空和温度成分。例如，该装置装有用于清除反应物的电离器，以及用于输送气体和气态溷合物的气体处理机。该工具还具有变速机械粗加工泵、涡轮分子泵、涡轮分子泵控制器和两速粗加工泵控制器。资产还配有各种工艺监测和控制系统，有助于确保薄膜沉积的均匀性。这些系统包括用于精确控制基板温度的质量流量控制器、用于样品加载的热冷板、用于温度均匀性进入腔室的分板、用于测量基板温度的光学高温计、互锁开关和工艺控制器。作为其安全功能的一部分，该型号配备了超压传感器和紧急按钮，以便在必要时迅速停止一个过程。这个高科技反应室是专业人士在制造纳米材料、化学工程和量子技术等先进过程中使用的通用工具。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA具有强大的设计、先进的功能和精确的控制功能,是那些希望将其过程控制提升到一个新的水平的人的宝贵工具。