二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198543 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种先进的等离子体反应器系统，设计用于制造先进半导体器件的关键步骤。它能够维持任何现有工具的最高工艺温度,非常适合临界低温和3D设备应用。AMAT ENDURA反应器由几个不同的腔室组成。载荷口是腔室装卸专用区域。它包含机器人，负责将晶圆从载荷端口转移到反应腔，以及维修其他腔室。基压室在过程中将基板和泵固定到位，还包含温度控制元件等仪表。反应室是反应堆的心脏，包含等离子体源材料和控制器，负责调节过程参数。最后，排气室包含涡轮泵和惰性气体，用于调节系统中的压力并维持所需的工艺条件。至于工艺参数，APPLIED MATERIALS ENDURA的设计可适应各种温度，包括低至25°C和高至1400°C的温度。其设计目的是提供一个统一和清洁的界面环境，防止晶圆在整个过程中暴露于介电沉积或污染。主动维护也是一项关键功能,允许用户在任何过程之前设置他们的配方,以增强工具性能并保持高级别的可重复性。ENDURA反应堆还附带了广泛的先进诊断和质量检查，包括对工艺步骤的实时现场监测，表征蚀刻和沉积结果的多重计量技术，以及监测晶体结构和方向的晶体示踪技术。自动光学相干断层扫描（OCT）也是AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA的一个选项，使用户能够通过晶圆在亚微米级监控设备结构。AMAT ENDURA反应器是先进的IC制造的理想工具，提供可靠的制造工艺，具有干净、均匀的界面和可重复的性能。其广泛的温度范围和通用的工艺实用程序使其成为各种关键步骤的理想选择,例如蚀刻、CVD和PECVD。该系统的全面监控能力，加上主动的维护和诊断，为用户提供了在不断变化的半导体行业取得成功所需的精确度和准确性。