二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198545 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA®反应器是一种先进的物理气相沉积（PVD）设备,用于用薄膜材料覆盖基板。这种高性能的PVD系统提供了工艺参数的精确控制和出色的材料利用率,从而实现了高吞吐量和成本节约。该设备提供一致的卓越性能和可靠性。AMAT ENDURA®由一个装有基板卡盘和气体面板组件的水冷不锈钢室组成。源材料保存在气体面板内的密封源容器中。电子束蒸发器用来焚烧原料.产生的物质蒸气通过扩散板，最终沉积在基板上。燃气面板包括一个面板加热器、一个光学观察窗和向前的稀有气体入口。为保证水分和无氧沉积条件，在沉积前将高纯度稀有气体引入室内。气体随后通过集成质量流控制器（MFC）以精确控制气流和沉积厚度。电极基板卡盘安装在地板上，由三个同心圆柱电极组成。它们用于精确控制基板温度以及基板加热和冷却。而且，卡盘允许基板在腔焦平面内旋转和运动。APPLIED MATERIALS ENDURA®机器还包括一个用于监控沉积过程的控制模块。控制模块由控制台、软件、电源、联锁工具和泵组成。该资产旨在方便安装、维护和操作,同时提供出色的控制级别。ENDURA®反应堆是一种可靠而强大的PVD模型。提供精确的材料利用率、高通量和优异的材料均匀性。是许多薄膜沉积应用的理想解决方桉。