二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202551 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是为可靠、高性能的基板加工而设计的多功能设备。用于半导体工业中，用于介电沉积、金属升空、金属化、介电隔离等先进的封装、互连和3D集成过程。AMAT ENDURA平台提供出色的均匀性和可重复性，同时通过消除传统反应堆的热效应来减少排便。APPLIED MATERIALS ENDURA是一种全自动化的生产设备，配有多个工艺模块。该平台设有一个包含晶圆板和多个热区的高技术室。压板由一个磁感器、晶圆保持环和晶圆提升销组成。该平台还集成了高效气体输送系统、可调喷嘴、自动化材料处理程序、真空泵和射频发电机。此外,ENDURA单元还利用高级流程控制来确保整个流程的卓越一致性和可重复性。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA平台旨在应对CVD、ALD和PECVD处理的挑战。这台机器具有很高的吞吐量,以及出色的可靠性和设备正常运行时间。该平台非常适合用于高级互连和内存应用的多层介质沉积。此外，该工具可以支持各种金属沉积过程，如毯层沉积和升空。该平台提供高效、受控的过程冷却和层传递材料,从而提高了排泄率、热稳定性和薄膜步长覆盖率。AMAT ENDURA反应堆利用自动化工艺降低成本，最大限度地提高产量。此资产支持25毫米至450mm的基板尺寸。它的多室设计消除了手动物料处理的需要,并实现了热负荷变化最小的可重复过程。此外,APPLIED MATERIALS ENDURA平台还具有可调节的射频功率和频率设置,允许用户改进流程以获得最佳效果。ENDURA是一个强大、可靠、多功能的解决方桉,适用于高级封装、互连和3D集成应用程序。其高效的自动化过程促进了最大吞吐量和可重复性，同时确保了基板的卓越均匀性和表面质量。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA模型具有可调节的射频功率设置、晶圆盘和可调节的喷嘴,是在各种沉积过程中实现最佳和一致性能的有力工具。