二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202812 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一个先进的蚀刻/沉积平台,旨在提供卓越的生产产量、最短的周期时间和卓越的性价比。它是一个全面、集成的蚀刻/沉积设备,具有多种功能,能够在基板制造中实现高级功能和高科技应用。这种单晶片沉积/蚀刻反应器比竞争性蚀刻/沉积工具具有更高的吞吐量、更大的工艺灵活性和更高的产量均匀性。AMAT ENDURA系统由两罐汽化室、两段式真空室、超低压源（ULV）、先进的晶圆加载单元和过程控制软件套件组成。两罐汽化室装有定制设计的原料源，两段真空室装有一个高效工艺范围的强大的RIE/等离子体蚀刻模块。ULV压力源提供超低压力,以实现最佳ECR等离子体源性能,从而提高蚀刻/沉积能力。先进的晶片装载机提供流畅的装卸动作和安全功能，以保护晶片并确保一致的结果。APPLIED MATERIALS ENDURA工具设计用于执行各种蚀刻/沉积过程。它支持广泛的工艺应用，包括高长宽比特征蚀刻/沉积、纳米技术应用、干蚀刻和热处理。该资产还有助于综合过程控制，允许同时优化过程，提高收益和可靠性。ENDURA模型非常适合先进半导体器件的高通量生产。它拥有自动化配方生成、配方生成和参数调整、超低压操作范围以及集成等离子体发电机和远程传感器能力的集成过程控制设备。它还具有定制设计的原料来源和高效率的工艺范围。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA系统的设计注重过程的重复性、高产量和增强的过程灵活性。其集成的过程控制软件套件提供了对蚀刻/沉积参数的完全控制，允许提高产量，快速周转时间和可靠的性能。AMAT ENDURA单元可广泛应用，包括MEMS、光电器件和射频现场器件生产。机器的高级功能能够减少周期时间、提高产量和节省成本,从而实现先进设备的生产。