二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202897 待售

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ID: 9202897
晶圆大小: 12"
CVD Al parts chamber, 12".
AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA设备是一种革命性的化学气相沉积(CVD)反应器,旨在使纤薄层材料的沉积产生"智能"涂层、透明金属表面和其他功能材料。这一创新沉积系统专门设计用于化学气相沉积应用,为一系列工业、研发、制药和生物技术应用提供优越的前体运输和均匀、可重复的薄膜沉积。AMAT ENDURA装置具有广泛的特点,使其成为一种可靠和通用的化学气相沉积工具。这种CVD反应堆设计有一个强大的自动气体控制机器,提供精确的流量和压力控制反应物和载气。这样可以确保一致和高质量的结果,同时优化薄膜沉积的转换率、吞吐量和均匀性。应用材料ENDURA利用独特设计的气体喷射器,使反应物和载体气体的稀释最小,从而详细控制反应物浓度和流速。ENDURA还包括一系列用于精确控制工艺室温度的选项。这些温度控制选项能够精确控制底物、反应物和载流子温度,以实现快速的薄膜沉积。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA还设计了低压和温度漂移,以提高工艺稳定性和结果均匀性。这种温度控制允许一致和均匀的层厚度,从而产生均匀和可靠的薄膜特性。AMAT ENDURA工具具有单一腔室设计,最大限度地提高底物通量,同时也实现了完整的反应物和底物隔离。APPLICED MATERIALS ENDURA REACTOR also features a small foot that it to be easily ingl此外,ENDURA还提供了一个具有全自动控制功能的可编程过程控制器,提供了可重复和精确控制的过程结果。最终,AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA资产为生产薄膜产品提供了高效、可靠和通用的CVD平台。这种先进的反应堆模型是为研发和工业应用而设计的,允许用户定义的定制制造过程。AMAT ENDURA反应堆也用途广泛,成本效益高,使薄膜沉积工艺能够轻松满足精确的应用要求。
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