二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9203800 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种用途广泛、最先进的单片或间歇反应器，设计用于半导体制造和相关加工。它是为外延生长、沉积、蚀刻和氧化应用而设计的多功能工具。蚀刻、沉积和氧化过程都合并在一个集成单元中，从而无需多种工艺工具。AMAT ENDURA具有高性能的冷墙设计，在大的过程载荷下具有均匀的蚀刻和沉积速率，而且设置灵活方便。APPLIED MATERIALS ENDURA配备了先进的故障监控系统，有助于防止潜在的安全和机器故障。它有一个独特的现代设计，大面积涂层淋浴头和螺旋入口管分布均匀的气体溷合和流过整个工件。这使得该装置适用于外延生长和低k膜沉积等过程。ENDURA采用四室设计提供灵活性,可满足各种工艺需求。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA提供了一系列工艺技术选项，如快速热处理（RTP）、远程等离子体清洗、火焰退火和快速热退火。该设备还支持最先进的快速热处理（RTP）和高温退火（HTA）。还支持快速、高精度的应变选择性退火和快速炉退火工艺。AMAT ENDURA有一个内置的自上而下的通路室，能够进行连续晶圆处理，在高速率和低压下提供出色的温度均匀性。APPLIED MATERIALS ENDURA还配备了全方位的自动化功能，允许用户精确控制工艺参数。这包括自动和半自动模式，以及完全手动控制。用户友好的GUI和数据记录功能缩短了设置和数据收集的时间,使其成为高批量生产和高科技应用的绝佳选择。ENDURA是加工强化和提供超清洁模具生长的理想反应器。它是为最大的工艺一致性和低颗粒污染而设计的，是先进半导体制造的绝佳工具。