二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9203908 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9203908
晶圆大小: 12"
Pre clean chambers, 12" Process: PVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一个革命性的紧凑型斜边批处理平台,用于半导体制造设施。与SEMI兼容的平台旨在提供卓越的性能,同时提供比其他系统少50%的占地空间。AMAT ENDURA反应堆具有独特的斜边设计,使其能够执行更高效的过程,允许更高的器件数量和更快的循环时间。APPLICED MATERIALS ENDURA反应堆融合了多项尖端技术,以实现卓越的加工性能。其斜边设计提供了更好的加热均匀性和更高的吞吐量速率。它还设有一个自动化的门系统,使操作员可以使用一个直观的按钮安全、快速地打开或关闭房间。这样可以确保操作员在腔室中拥有所需的加工材料,同时最大程度地减少操作员误差。此外,反应堆还配备了高级陶瓷材料,以确保持久高效的工艺。它强大的功能还允许具有攻击性的晶圆几何形状,包括扩展的长宽比和增加的长宽比,以用于快速增长的技术节点。该反应堆还提供了+/-1.5 C的温度均匀性,允许更快、更精确的工艺吞吐量。它也完全有能力处理高k电介质等难于处理的材料。这一独特的功能还使其能够满足先进设备体系结构和新兴技术的需求。此外,ENDURA反应堆包括一个直观的触摸屏控制器,使用户能够轻松定制和编程复杂的配方。这使用户能够在实时监控流程指标的同时优化工具性能。操作员甚至可以查看不同参数的实时图形显示,从而实现更好的过程控制和屈服管理。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是一个革命性的平台,旨在满足当今不断发展的半导体制造技术的需求。其紧凑的设计、尖端的技术和直观的控制系统使其成为寻求最大产量、吞吐量和器件性能的半导体制造商的理想选择。
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