二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9222234 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是一种多功能、高性能的等离子体蚀刻设备,具有一系列特性和功能。它旨在支持各种类型的蚀刻应用，范围从超细光掩模到半导体晶圆。AMAT ENDURA能够在一系列材料中产生排泄率低、蚀刻均匀性近乎完美的高长宽比特征。APPLIED MATERIALS ENDURA系统的核心是获得专利的ExtorQTM电源技术：一种小巧、功能强大、用途广泛的射频发电机,可提供卓越的性能和前所未有的等离子体工艺控制。ExtorQTM电源为用户提供了对离子能量、离子密度和等离子体化学的单源控制，从而可以精确控制蚀刻参数和最小化过程变异性。ENDURA还提供了一系列高级流程监控功能。该单元的控制和分析软件包包括自动过程优化工具和实验设计功能：用于设置可重复和高度可编程的晶圆处理条件的工具。软件还支持远程访问和监视,从而实现远程流程优化。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆还提供了广泛的腔室选项，包括PE-CD、PE-BT和PE-OD。每个腔室构型利用各种磁体构型和电子回旋共振（ECR）源。通过添加AMAT ENDURA APPLICED MATERIALS ENDURA Total Chamber Control （ETCC）,用户可以建立统一的梁模式,从而在不同的腔室类型中实现统一的工艺结果。此外，ENDURA反应堆提供了一系列自动化的工艺配方，确保用户过程的可重复性和提高吞吐量。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA工艺室还配备了基板管理（SM）和负载锁模块,这些模块可实现高效的基板传输和处理,而无需人工干预。总体而言，AMAT ENDURA反应堆是一种功能强大、功能丰富的蚀刻机，可提供可靠可靠的工艺。APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆具有ExtorQTM电源、先进的工艺监控、远程访问和自动化工艺配方,是需要精确蚀刻结果和严格工艺控制的用户的理想选择。