二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9223707 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种先进的、高通量的化学气相沉积（CVD）反应器部件设备，旨在优化半导体器件的生产。AMAT ENDURA提供了多功能性和灵活性,可通过改进的过程控制和性能满足不断变化的设备要求。APPLICED MATERIALS ENDURA基于革命性的CVD设计,使其成为一个高度可靠的系统,提供精确的过程控制、提高的可生产性和卓越的速率性能。该单元采用垂直配置和模块化设计，具有较短的工艺室，与传统系统相比，可实现更高的薄膜沉积速率和更小的占地面积。这台机器还采用闭环控制，用于精确的工艺设定点，配有用于精确的气流输送的气体输送工具，并包括多个腔室，用于多步骤的工艺编组。ENDURA由一个主机、工序源、源室、基板级、工序室和排气腹侧组成，每一个都有各自的特点，以提高工序性能和效率。大型机高度自动化,可轻松配置多台设备。工艺源室允许精确的气体输送，具有先进的气流控制，而基板级提供精确的样品放置，具有独立的基板温度控制，允许在整个生产过程中可重复的条件。工艺室是资产的中心，为CVD反应提供了条件。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA配备了强大的等离子体源，并提供统一的温度控制，确保整个腔室和基板上的薄膜质量可靠，即使沉积速率很高。该腔室还配有先进的HRU（热回收单元），提供从源到基板级和工艺腔室产生的热量，以减少电力使用，进一步优化工艺吞吐率。最后，排气腹侧有助于管理CVD处理过程中产生的反应性气体和烟雾。AMAT ENDURA提供卓越的工艺控制,旨在提高产量、最大限度地减少停机时间并最大化盈利能力。它的模块化设计和高效的操作使其成为帮助降低生产成本同时提高性能和可靠性的专家工具。该模型的高通量和受控的CVD环境使其成为快速经济高效地生产半导体器件的理想解决方桉。