二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9227874 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor是一种先进、高性能的沉积设备，为各种材料提供高通量和严密的均匀性控制，使其成为几乎任何沉积应用的理想平台。利用专有的等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）技术开发的AMAT ENDURA平台能够沉积各种底物，包括金属、电介质、导体和半导体。APPLIED MATERIALS ENDURA的设计支持沉积、产业化和定制过程。ENDURA具有三个独特设计的加工室,能够同时处理三个独立的基板。此外,还配备了四个MFP-3D机器人和两个可分别控制的陶瓷到金属密封件,从而实现了系统功能的高效自动化。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA还具有全套工艺控制功能,如高精度温度、压力和流量控制,以及各种基板配置和射频选项。AMAT ENDURA纯外延沉积过程坚固耐用，使复杂的硅化结构沉积具有很高的阶梯覆盖率。该装置具有良好的薄膜均匀性，能够在所有三个工艺室内沉积均匀性高达± 0.5%。这使得APPLIED MATERIALS ENDURA异常可靠，并有助于成功制造各种高性能半导体器件结构。ENDURA的其他特点是其广泛的工艺范围和卓越的可重复性。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA的工艺范围是业界最广的,能够使用一台机器对各种材料进行沉积和表征。同时,该过程的重复性非常精确,可重复性高达0.5% ±.这样可以确保可重复沉积运行一段时间的准确性和一致性。AMAT ENDURA反应堆的一个独特特点是其支持工业规模生产的能力，具有定制和自动化的机会。这可以从APPLIED MATERIALS ENDURA有效处理具有先进晶圆跟踪能力的大容量基板，加上其自动基板加载和卸载选项的能力中看出。此外,ENDURA还可以与其他系统（如在线计量）集成,以便进一步定制该工具。总而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种先进的高性能沉积资产，提供了令人印象深刻的能力和精确度。AMAT ENDURA具有广泛的工艺范围、自动化的操作和灵活的定制机会,对于任何希望通过高级沉积解决方桉实现工艺数字化的半导体制造设施或研发实验室而言,AMAT ENDURA都是一项宝贵的资产。