二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9247381 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应器是一种基于磁增强等离子体源的先进反应性离子蚀刻（RIE）设备。它是一种多室工具，使用等离子体辅助沉积过程从基板和介电层蚀刻（或去除）图样。该系统可用于各种工艺应用，如IC制造、接触蚀刻、光致抗蚀剂剥离和接触孔形成。AMAT ENDURA单元为用户提供了精确控制蚀刻工艺的创新解决方桉。其核心技术是磁增强等离子体（MEP）源。这项专有技术使蚀刻工艺更具可重复性和效率,在复杂的基板上具有更高的产量和均匀的特征尺寸。磁化等离子体源有助于减少射频电噪声,并允许更广泛的过程窗口.APPLICED MATERIALS ENDURA机的设计旨在提供对蚀刻工艺的精确控制。其多腔室配置确保晶片表面的均匀性和清洁性。双加工室使蚀刻工艺能够与污染完全隔离，并允许使用不同的气体有效蚀刻不同的材料。该工具具有多种高级功能，包括用于蚀刻具有挑战性的电介质的宽压力范围（从mTorr到高Torr）、允许精确特征控制的高分辨率石英掩模以及高通量蚀刻工艺。它还拥有先进的监控和过程控制系统，为用户提供对蚀刻过程的实时控制。ENDURA资产可用于半导体、航空航天、医疗和汽车等多种行业。它旨在实现更精确、更高效的蚀刻工艺，降低基板损坏、污染和屈服损失的风险。使用该模型还可以降低运营成本并提高吞吐量。最后，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应器是一种基于磁增强等离子体技术的先进高效RIE设备。它为用户提供了对复杂基板蚀刻过程的精确控制，有助于降低污染、基板损坏和屈服损失的风险。此外,系统能够提供高吞吐量性能,降低运营成本并提高盈利能力。