二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9251712 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是半导体工业中使用的先进制造工具。它为生产高性能、高质量的集成芯片提供了优越的蚀刻、沉积和植入工艺。设备包括一个可选的负载锁,以保护工具和减少加工材料所需的时间。AMAT ENDURA反应堆由MagnaVac等离子体电源和冷冻泵模块供电。它具有出色的蚀刻速率、优越的表面地形和增强的工艺均匀性。该系统还具有用于改进过程控制的低功率蚀刻以及用于高级监控和分析的过程控制管理单元。该工具还配备了一系列样品支架和定制盒式磁带,以提高生产和样品转移的灵活性。该机在严格过程控制的情况下实现了高通量操作,同时也满足了芯片制造商严格的质量和生产要求的日益增长的需求。它支持高级自动化控制,并针对单个工具中的并行运行进行了优化。该反应堆设计用于多个现场研究,并配备执行广泛的蚀刻、沉积和植入过程。APPLICED MATERIALS ENDURA反应器具有低能端点蚀刻(LEEPE)的能力,以低能耗的精确蚀刻性能。它提供先进的过程控制,为复杂的结构提供精确和可重复的过程。该工具还允许优化高功率蚀刻工艺,并为高端沉积和植入工艺提供专门的工具和附件。ENDURA反应堆也是为了优化生产力而设计的。该资产包括高级控制算法,可确保产品和工艺质量的一致性和可重复性。该模型还提供了高速、高精度的定位系统,每个样品都有经过微调的参数。综上所述,AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是一种先进的高性能设备,旨在优化半导体芯片生产。它包括先进的蚀刻、沉积和植入过程,以确保一致和可重复的质量和性能。该系统具有低功耗蚀刻和先进的过程控制,以及优化的高吞吐量和生产率算法。
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