二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9258297 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是专门设计用于制造先进半导体器件的多模式工艺平台。该反应堆通过蒸气和液体工艺步骤提供晶圆级精度，并结合业界领先的可重复性和一致的结果。AMAT ENDURA反应堆具有精确加热和冷却晶片和基板的能力，并提供了广泛的温度、压力和流动范围，以允许最复杂的过程。最先进的设计提供动态热管理,适用于热过程和湿过程。APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor配备了优化的墙体限制装置，提供了较短的限制时间和高效的热循环。此功能提供了进程的可扩展性,以便所有晶片都可以以相同的结果进行处理。动态热管理可创建快速热循环,有助于确保性能一致。ENDURA的加热元件经过精密控制，其涂层均匀性通过激光干涉反射法（LIR）验证，以确保一致的结果。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor为用户提供了一次处理多达四个晶圆的能力。这允许在一个周期内进行多次晶圆处理，从而提高吞吐量和效率。AMAT ENDURA的气体扩散歧管（GDM）确保了所有晶片的均匀性.GDM是使用先进的激光扫描设备生产的，以确保准确性和工艺一致性。此外，歧管的每个模块都能够提供多达四个单独的流量控制环境，这使得反应堆可以根据不同的工艺要求进行定制。应用材料ENDURA反应器提供温度控制和过程的灵活性.反应堆提供两种类型的温度控制，一种是静态系统，可以实现长期精度，另一种是动态单元，可以快速跟踪温度。这两个系统都可以快速、一致地方便地加载和卸载晶片。集成数据采集机（DIAS）对ENDURA反应堆的性能和过程稳定性进行实时监控。反应堆还配备了彻底的排气工具，确保所有工艺烟雾安全排出。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种可靠、灵活、用途广泛的反应堆，满足了先进半导体器件生产的需求。该资产提供灵活可靠的过程控制和准确的热管理，确保所有晶片的处理结果一致。AMAT ENDURA Reactor允许在一个周期内进行多次晶圆处理，其集成数据采集模型确保所有工艺都安全可靠。