二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9265756 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor（AMAT ENDURA）是一种高通量金属有机化学气相沉积（MOCVD）平台，旨在启用最先进的3D逻辑器件。APPLIED MATERIALS ENDURA具有业界领先的吞吐量,每小时最多可启动500个晶圆,而且设计可靠可靠,是设备制造的强大工具。ENDURA具有革命性的二元源构型，可实现精确的卤化物比控制，实现精确准确的VOC沉积。这提供了对反应物浓度和反应时间的精确控制，导致化学计量漂移最小，可制造性更好。此外，采用了最高纯度的蒸气输送系统，确保了高可重复性和一致的工艺性能。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA的创新底盘设计也允许原子层沉积（ALD），能够支持更广泛的加工条件，如温度、压力和反应物组合。先进的控制系统可实现每个区域的regloom时间,并确保使用最先进的处理条件。此外，该系统还具有快速端点检测和过程反馈的内置功能。AMAT ENDURA的人体工程学设计允许方便地进入腔室部件，提供动手维护和故障排除。这一设计还确保了它可以很容易地适应客户的标准工作区，并且还与一系列现有的机器人和升降机系统兼容。APPLIED MATERIALS ENDURA为客户提供了可靠、经济高效且先进的MOCVD平台,他们需要最高的工艺性能和最高的设备吞吐量。它提供了性能和生产效率之间的完美平衡,从而提高了效率并降低了总体成本。ENDURA是用于先进设备制造的可靠、可靠且经济实惠的工具。