二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9266216 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种在半导体工业中广泛使用的成熟物理气相沉积（PVD）工具。它旨在在广泛的工艺条件下提供先进、高性能的沉积。AMAT ENDURA反应堆利用具有反应性气体和前体的单室或双室真空系统来沉积所需的材料。它具有多种独特的功能，能够很好地控制材料沉积的精确质量，如自动压力控制、高分辨率压力控制、提高表面粗糙度的脉冲反应物流动以及优化层动力学的先进反应控制。另外，几种等离子源技术可以集成，如微波、电子束和直流电（DC）功率，允许较低温度的过程和更大的控制。应用材料ENDURA反应堆具有高通量材料生长能力，在大面积上提供均匀或量身定制的逐层生长。它具有一个大的柔性工作区，能够处理从几英寸到几十英寸的基板。为确保可靠性，ENDURA反应堆包括一个主动清除污染系统，并在发生任何工艺中断时自动关闭顺序。为了方便起见，可以包括一个自动化的机器人门，以便于底物的装卸。其直观的图形用户界面（GUI）允许简单一致的流程-配方驱动操作,以及并行多次运行以加快处理时间。此外，其模块化设计有助于促进升级，确保随着技术和应用的变化，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆保持最新状态。AMAT ENDURA反应堆提供先进、高性能的沉积能力，对材料的生长质量和吞吐量有很大的控制。它具有通用的过程、可靠的操作以及易于升级的模块化设计,是半导体应用的理想选择。