二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9266616 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
已售出
ID: 9266616
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Sputtering system, 8" 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种高性能的CVD(化学气相沉积)平台,用于种植多种薄膜材料。可用于生产包括多晶硅、氮化硅、非晶硅、电介质、金属层在内的一系列薄膜。通过其高端自动化,设备可以保证可重复的效果和提高生产产量。该系统配备了高级外延升降性能(ACELP)基板堆栈装载机,有助于提高生产吞吐量和效率。该单元还允许用户快速、准确地更改配方,而无需人工干预。该工艺室的设计满足了广泛的应用需求,同时也提供了工艺稳定性、均匀性和控制的出色组合。这台机器具有高性能微控制器,能够实现自动学习等自动化功能,从而提高效率和准确性。它旨在降低配方的复杂性并缩短周期时间。该工具还具有强大的图形用户界面(GUI),可帮助用户快速设置和控制流程。该资产可与工厂自动化模型集成,以增强过程监控。AMAT ENDURA反应堆是一种高度可靠和灵活的设备,具有广泛的能力。适合于高容量和中层应用的批量生产以及研究水平的细膜沉积。通过自动化控制和强大的流程监视和报告,该系统将提供可靠和统一的结果。该装置设计高效可靠,是各种薄膜沉积和超高真空应用的理想选择。
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