二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9296941 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种物理气相沉积（PVD）反应器，设计用于在单个设备中提供沉积和等离子体蚀刻能力。AMAT ENDURA被设计为在高通量的环境中提供最高品质的影片和最佳性能。该腔室由最多五个独立的组件构成：基板支架、高频源、卡盘、锁载室和次级源。基板支架允许系统处理从任何尺寸到300 mm的多块基板。高频源用于制造高功率等离子体，用于分解过程气体中的化合物。卡盘用于在过程中保持基板，而载荷锁室的设计是通过允许基板在不暴露于大气的情况下进行载荷和卸载来减少污染。最后，利用二次源引入吸气剂和其他含化合物气体。APPLICED MATERIALS ENDURA的多区Control™技术提供了同一腔室内的多个沉积和蚀刻区域。这项技术使操作员能够将其工艺要求与设备完美匹配,并实现尽可能高的产品性能。多膜沉积源，包括溅射源和等离子体源，可以在单个基板上使用，既允许高片状电阻，又允许高电导层。此外，该机器还能够通过各种材料进行蚀刻，包括金属、电介质和光致抗蚀剂。ENDURA还配备了多种自动化功能，有助于确保流程可重复性和准确性。可以对自动参数（如过程时间、温度和压力设置）进行编程和保存,以确保无论操作员如何,结果都保持一致。此外，该工具还具有一套安全功能，包括压力控制器和负载锁，可降低操作资产时的风险量。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种强大的物理气相沉积反应堆，在高通量环境中提供高性能和可靠的性能。凭借其多区Control™技术和自动化功能,操作员可以创建高质量的薄膜和蚀刻,并具有无与伦比的过程重复性。