二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312917 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种设计用于半导体制造过程的反应堆。它是一种高温、金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备,用于种植单晶、薄膜材料,以制造下一代芯片,或集成电路。该反应堆为外延层沉积在单晶生长基板上提供了一个精确的环境,以产生纤薄、高性能的层。AMAT ENDURA反应器是为III/V化合物半导体的生长而设计的,如砷化的移植物(GaAs)、磷化铵(InP)及其合金。系统使用自动炮塔监测气流、舞台温度、位置基板和碗,并确定沉积速率。各种材料可通过自动转盘单元输送,确保沉积速率一致,是III/V复合半导体层生长的理想选择。基板级还可配备原位计量工具,精确测量关键膜参数。APPLICED MATERIALS ENDURA具有先进的热管理功能,使自动化能够快速准确地上升到高温,同时最大限度地减少反应堆组件上的热应力。这些控制可加快坡道时间、提高工艺能力和提高工艺精度。此外,ENDURA反应堆还配备了智能温度优化机,可主动监控过程温度以实现最佳热对流。这样可以确保精确的温度调节,并提高生长均匀性和产量。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA专为快速、方便的维护而设计,使操作员能够轻松地访问组件,从而加快工具的使用时间和维护速度。此外,它的低维护结构和先进的零件制造确保了最小的停机时间,并随着时间的推移提高了产量。总体而言,AMAT ENDURA是一个强大的MOCVD反应堆,设计用于III/V复合半导体层的生长。其先进的特性和精确的控制为打造单晶薄膜材料打造先进的芯片和集成电路提供了精准的环境。
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