二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312918 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种高度先进的蚀刻沉积反应器，常用于半导体材料的制造。其生产极精确的纳米技术元件的能力无与伦比，使其成为半导体行业中强大可靠的工具。AMAT ENDURA是一种用于蚀刻和沉积过程的单晶圆反应器腔室系统。腔室的形状使得它提供等离子体和光学通量的均匀性。内部由两个相对的电极组成，每个电极由13.56 MHz射频源供电。APPLICED MATERIALS ENDURA的等离子体源被优化，以确保离子的精确放置，从而导致严密的过程控制。这也有助于最小化电场和减少漂移。该反应器的设计具有优异的蚀刻均匀性和更精确的表面特性。沉积过程可以量身定制，以达到特定的电阻率，薄膜组成，和掺杂剂剖面。为了保持室内环境的一致性，ENDURA利用一系列屏蔽和屏蔽将底物与等离子体分离，以减少潜在的伤害。这也有助于最小化电场和漂移。为了进一步保护底物，反应堆配有自动冲洗泵，控制室内压力并保持在安全操作水平。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA具有多项提高通量的宝贵功能，包括多口袋热解衬里和高纯度气线。此外,系统还可以与自动化连接,从而使流程更易于管理,例如在批处理模式下执行操作,以及如何管理晶片堆栈。AMAT ENDURA是一种经过验证且经济高效的工具,用于许多操作,旨在提供显着的流程改进、多功能性和优越的产量。其可靠的性能使其成为小特性、产量和成本都很重要的过程的理想解决方桉。