二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9399253 待售

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ID: 9399253
PVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种高性能、单晶片的半导体蚀刻反应器,专为满足生产制造工艺的需求而设计。AMAT ENDURA占地面积很小,非常适合小型织物,为蚀刻工艺要求提供灵活、可靠和高效的解决方桉。APPLIED MATERIALS ENDURA提供了准确控制工艺参数的能力,从而产生了缺陷率低的高质量最终产品。此外,ENDURA的高工艺速度使其适合进行大容量蚀刻操作。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA由专有、业界领先的软件和硬件提供支持,用户可以在利用其现有流程知识的同时快速开发和定制流程配方。该反应堆基于一个标准平台,具有高度优化的工艺配置文件。这样可以更快、更简单地过渡到生产。AMAT ENDURA具有过程灵活性和可扩展性,这使得它可以用于不同的应用程序和生产卷。反应堆专为化学机械平面化(CMP)、光致抗蚀剂掩蔽、线缘粗糙度(LER)去除等应用而设计。此外,APPLIED MATERIALS ENDURA可以同时处理多个晶片,精确控制每个晶片到相同的工艺规范。为了确保运行的一致性和可靠性,反应堆配备了先进的腔室管理系统,具有自动晶圆热预算监测功能。这使得反应堆能够精确监测每个晶片的热预算并相应调整功率,确保所有晶片上均匀蚀刻结果。最后,ENDURA旨在确保最大程度的可用性和生产率。反应堆配有集成的刀尖清洁器,简化了常规维护程序。此外,软件控制面板允许用户轻松控制和监控整个流程周期。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种功能强大的蚀刻反应器,为各种蚀刻应用提供卓越的性能和可扩展性。其先进功能不仅非常适合生产制造,而且还缩短了周期时间,提高了产量并优化了生产率。反应堆直观的设计和用户友好的界面使其对所有技能水平的操作员都具有很高的可及性。AMAT ENDURA具有提供可重复、高精度工艺和一致结果的能力,是半导体蚀刻应用的理想选择。
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