二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9401876 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是下一代半导体製造的平台。它是制造过程中先进材料沉积在半导体晶片上的掺杂设备。AMAT ENDURA是一种多室、高真空系统，用于离子植入器、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、等离子增强CVD、等离子增强化学气相沉积（PECVD）、金属有机化学气相沉积（MOCD）、原子沉积。它旨在提供精确的过程控制、出色的可重复性和更高的生产率。APPLICED MATERIALS ENDURA平台将多个腔室和工艺源结合在一个单元中,并以其高性能和先进的安全特性加以区分。它结合了一个可自动装卸反应堆腔室的负载锁和一个设计用于容纳各种组件的工艺源托盘，包括离子、前体，甚至是一个可重复的溅射源。机器还支持机器人晶片处理，使许多晶片可以同时装卸。该平台包括众多的高级功能，允许精确的掺杂，优越的工艺质量，更大的吞吐量。ENDURA的过程控制系统使用先进的诊断技术,能够对过程室和晶片进行现场监控,并对过程进行全面优化,以获得更高的产量和扩展到更高的设备密度。该平台还具有一套安全功能，包括用于疏散的高效涡轮泵、消除颗粒污染的静电卡盘以及用于远程监控的多个接口。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA平台在与制造环境类似的条件下进行了广泛的测试和验证。这样可以确保客户受益于精确掺杂和卓越的可靠性。其先进的安全功能在整个过程中最大限度地提高晶圆保护,而其高效的设计降低了能耗。这使得AMAT ENDURA成为半导体制造的理想平台。